始建于1959年
溫度范圍: - 180℃ ~ +180℃;
極限真空度:常溫空載優(yōu)于5×10-5 Pa;
多適用于KM2級及以上環(huán)模設備;
使用頻率較低,建議采用開式沸騰液氮系統(tǒng),研制成本相對較低;
使用頻率較高,建議采用帶壓節(jié)流式液氮系統(tǒng),運行成本相對較低。
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